Eine Führung durch das Technologielabor für Mikro- und Nanosysteme gab es am Tag der offenen Tür. Foto: Hochschule Foto: Schwarzwälder-Bote

Hochschule: Tag der offenen Tür im Mikro- und Nano-Bereich

Furtwangen. "Mikrosysteme sind aus unserem täglichen Leben nicht wegzudenken – in Autos, Smartphones oder medizintechnischen Geräten werden zahlreiche Mikrosensoren eingearbeitet", begrüßte Ulrich Mescheder beim Tag der offenen Tür des Furtwanger Instituts für Mikrosystemtechnik (iMST). Er ist Prorektor Forschung der Hochschule Furtwangen (HFU) und Leiter des iMST.

Ein Forschungsschwerpunkt des iMST ist die Herstellung von Mikro-Werkzeugen. Seit vielen Jahren entwickeln Wissenschaftler unter Leitung von Mescheder neue Verfahren zur Herstellung von Mikrosystemen und Methoden zu deren Charakterisierung. Ein weltweit anerkannter Kompetenzschwerpunkt liegt in der Herstellung von porösem Silizium, das unter anderem für optische Messmethoden eingesetzt werden kann.

Volker Bucher, stellvertretender Leiter des iMST, forscht an Beschichtungs- und Verkapselungstechnologien von intelligenten Implantaten, etwa für Epilepsiepatienten. Bei derartigen Implantaten, die langfristig im Körper verbleiben sollen, wird die hochempfindliche Sensorik durch hauchdünne, aber dennoch stabile und undurchlässige Beschichtungen geschützt.

Im vergangenen Jahr erhielt die HFU eine Bundesförderung in Höhe von knapp einer Million Euro zum Aufbau einer Atomlagenabscheidungs-Clusteranlage. Mit der Anlage lassen sich in wenigen Sekunden einzelne Atomschichten auf eine Oberfläche aufbringen. Dadurch können entweder die Eigenschaften der Oberfläche verändert oder die Oberfläche geschützt werden. Die neue Clusteranlage steht im Technologielabor für Mikro- und Nanosysteme, das rund 270 Quadratmeter Reinraumfläche umfasst.

Die Forschung an der HFU ist in sechs Forschungsschwerpunkte gegliedert. Um die wachsende Forschungsleistung der Hochschule abzubilden, wurden vor zwei Jahren Fachinstitute mit spezifischem Forschungsprofil gegründet. Das iMST ist eines von insgesamt zehn Fachinstituten der HFU.